离子枪

摘要

本发明之课题在于使整齐排列有复数之离子束引出孔的离子枪中的离子束电流密度均匀。;其解决手段为：在具备由阴极(10)及阳极(20)所构成的电浆产生手段、以及从电浆产生手段所产生的电浆引出离子束的栅极(30)之离子枪中，阴极系由架设在一对之灯丝电极(13)间的灯丝(12)所构成，栅极系具有与灯丝平行排列的复数之离子束引出孔(31)，而且设定成包含灯丝两端部(12a)之每单位空间的发热量系大于包含灯丝部(12b)之每单位空间的发热量。

主权项

一种离子枪，其系具备：电浆产生手段，由阴极(10)及阳极(20)构成；及栅极(30)，用于从该电浆产生手段所产生的电浆引出离子束；该阴极系由架设在一对灯丝电极间的灯丝(12)所构成，该栅极系具有与该灯丝平行排列的复数个离子束引出孔(31)，包含该灯丝两端部(12a)之每单位空间的发热量，系大于包含该灯丝中央部(12b)之每单位空间的发热量。