| 发明名称 | 一种用于电极杆固定的支架 | ||
| 摘要 | 本发明讲述的是一种用于管式PECVD设备炉尾电极杆固定的支架。说明书对支架的设计进行了详细的说明，并给出具体实施方案。 | ||
| 申请公布号 | CN104299876A | 申请公布日期 | 2015.01.21 |
| 申请号 | CN201310303708.X | 申请日期 | 2013.07.18 |
| 申请人 | 北京中科信电子装备有限公司 | 发明人 | 李楠 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种用于电极杆固定的支架，包括：支架部分①、支架部分②、尺寸及结构。 | ||
| 地址 | 101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||