一种真空镀膜装置

摘要

本发明提供一种能够能够充分利用镀膜材料进行镀膜的真空镀膜装置。本发明的一种真空镀膜装置，用于将镀膜材料镀到基片上，含有：真空室、转动轴、镀膜材料置放部支撑座以及对基片进行夹持的复数个夹具，其特征在于，还具有：两个镀膜锅，一个作为基板，另一个作为用于置放镀膜材料的镀膜材料置放部；和一个基板承载部，与转动轴相连，用于承载作为基板的镀膜锅和装载复数个夹具。

主权项

一种真空镀膜装置，用于将镀膜材料镀到基片上，含有：真空室、转动轴、镀膜材料置放部支撑座以及对所述基片进行夹持的复数个夹具，其特征在于，还具有：两个镀膜锅，一个作为基板，另一个作为用于置放所述镀膜材料的镀膜材料置放部；和一个基板承载部，与所述转动轴相连，用于承载作为基板的所述镀膜锅和装载所述复数个夹具，其中，所述镀膜锅包括：锅底板、与该锅底板固定相连并环绕所述锅底板设置的锅身，所述锅底板含有：定位凸台、与所述夹具的形状相对应并且个数相等的复数个贯穿孔、第一连接部以及第二连接部，所述第一连接部与所述基板承载部相对应，用于当所述镀膜锅作为基板时与所述基板承载部相连接，所述第二连接部与所述镀膜材料置放部支撑座相对应，用于当所述镀膜锅作为镀膜材料置放部时与所述镀膜材料置放部支撑座相连接，所述基板承载部包含：与所述转动轴相匹配的定位座和与该定位座固定相连的承载板，所述定位座与所述转动轴相连，所述承载板上设有：与所述定位凸台相对应的定位凹槽、与所述第一连接部相对应的连接固定部以及与所述复数个贯穿孔和所述复数个夹具相对应用于连接该复数个夹具的夹具装载部，所述夹具装载部包括与所述复数个夹具的个数相等的复数个夹具装载台，当所述镀膜锅作为基板时，所述夹具的连接轴穿过所述贯穿孔与所述夹具装载部相连。