光刻机的支撑结构及其制造方法

摘要

本发明提出一种光刻机的支撑结构及其制作方法。支撑结构包括外围板。外围板包括第一面、第二面和折弯边。第二面连接于第一面。第一面与第二面连接处的板材通过折弯形成折弯边，折弯边具有折弯槽，第一面与第二面在折弯槽处折弯，形成一夹角。第一面和第二面具有多块板材通过焊接连接而成。本发明采用折弯板材来代替部分焊接结构，这种方式将更适合多面体较复杂的几何外形的支撑结构，改善了制造工艺，缩短焊接制造周期。

主权项

一种光刻机的支撑结构，包括外围板，其特征是，所述外围板包括：第一面；第二面，连接于所述第一面；所述第一面与第二面连接处的板材通过折弯形成折弯边；所述折弯边具有折弯槽，所述第一面与所述第二面在所述折弯槽处折弯，形成夹角；所述第一面和第二面均由多块板材通过焊接连接而成。