| 发明名称 | 汽化器、使用汽化器的各种装置以及汽化方法 | ||
| 摘要 | 一种可长期使用而不会阻塞、并且能够向反应部稳定供给原料的汽化器包括分散部(8)，所述分散部包括：形成在分散部本体(1)内部的气体通道(2)，将加压运载气体(3)引入气体通道(2)的气体入口(4)，将原料溶液(5)供给到流过气体通道(2)的运载气体的装置(6)，将包括原料溶液(5)的运载气体送到汽化部(22)的气体出口(7)，和用于冷却在气体通道(2)内流动的运载气体的装置(18)；用于加热和汽化从分散部送来的包括雾化的原料溶液的运载气体的汽化部(22)，所述汽化部包括其一端与诸如沉积装置的各种装置的反应部连接、另一端与所述气体出口(7)连接的汽化管(20)，和用于加热汽化管(20)的加热装置(21)；以及安装在所述气体出口(7)外侧的具有小孔(101)的防辐射部件(102)。 | ||
| 申请公布号 | CN1966762B | 申请公布日期 | 2015.01.21 |
| 申请号 | CN200610095864.1 | 申请日期 | 2002.01.18 |
| 申请人 | 株式会社渡边商行;都田昌之 | 发明人 | 都田昌之;楠原昌树;梅田优;深川满 |
| 分类号 | C23C16/448(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/448(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 蔡洪贵 |
| 主权项 | 一种形成SBT薄膜的方法，所述方法包括如下步骤：通过从气体入口将包括惰性气体和氧气的运载气体引入气体通道、以及通过从位于所述气体入口下游的位置将原料溶液引入所述气体通道来制造原料的薄雾；将带有所述运载气体的所述薄雾引入汽化部并使所述薄雾汽化；向汽化的原料中添加另外氧气；以及将包括所述另外氧气的汽化薄雾引入形成室并且形成所述薄膜。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||