压印方法、压印设备及制造装置之方法;IMPRINT METHOD, IMPRINT APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE

摘要

使用模具将图案转移至供应至基板上的多个射击区域之压印材料的压印方法，其包括移除附着于模具之图案的外来物质，而移除的方式使得多个射击区域包括可以形成模具之部分图案的部分射击区域，并且使模具接触供应至部分射击区域的压印材料以将模具的图案转移到基板；以及包括使用用于移除外来物质的模具而将图案转移至多个射击区域当中排除部分射击区域的射击区域。