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发明名称 MICROLITHOGRAPHY PROJECTION OBJECTIVE
摘要 <p>Microlithography projection objectives for imaging into an image plane a pattern arranged in an object plane are described with respect to suppressing false light in such projection objectives.</p>
申请公布号 KR101483791(B1) 申请公布日期 2015.01.16
申请号 KR20077030861 申请日期 2006.05.23
申请人 发明人
分类号 G02B13/00;G03F7/20 主分类号 G02B13/00
代理机构 代理人
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