超音波洗净装置及超音波洗净方法

摘要

提供一种超音波洗净装置及超音波洗净方法，系可防止喷射到被洗净物的端面之超音波传播水从被洗净物回弹等造成的再污染，有效洗净被洗净物的基板端面。具有连接于水柱喷水器对基板传导喷射超音波传播水之超音波导波管，超音波导波管系不位于基板上方设置，一面藉由基板的表面呈水平状态保持基板而可旋转之旋转保持部旋转基板，一面从超音波导波管对被配置在空间之基板构成外周的端面，由该端面的切线方向喷射超音波传播水。