| 摘要 |
本发明开发出一种正型感光性树脂组成物，其不会损及高折射率、高透明性的特性，于室温下的长期保管后亦于曝光时具有高感度，且图案形成后的解析性、耐溶剂性优异。本发明的正型感光性树脂组成物的特征在于含有：藉由将特定的有机矽烷与具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机矽烷水解并进行局部缩合而合成的聚矽氧烷；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的一种以上的金属化合物的粒子，或选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的一种以上的金属化合物与矽化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及(c)溶剂。; (d) particles of a metal compound selected from at least one of an aluminum compound, a tin compound, a titanium compound, and a zirconium compound, or composite particles of a metal compound and a silicon compound, in which the metal compound is selected from at least one of an aluminum compound, a tin compound, a titanium compound, and a zirconium compound; (b) a naphthoquinone diazide compound; and (c) a solvent. |
