用于电浆处理设备之硬脆性元件的靭性模式加工方法;DUCTILE MODE MACHINING METHODS FOR HARD AND BRITTLE COMPONENTS OF PLASMA PROCESSING APPARATUSES

摘要

本文揭露一种电浆处理设备元件的靭性模式加工方法，其中该元件系由非金属的硬脆性材料制成。该方法包含：使用金刚石切削工具单点车削该元件，使得一部分非金属的硬脆性材料于切屑形成期间受到高压相变，而形成该硬脆性材料的靭性相部分，其中经车削的表面系由经相变之材料形成，而该经车削面系经相变之材料的沟槽纹理表面。