多チャンネル流量比コントローラシステムの方法および装置

摘要

４チャンネルガス送出システムは、吸気口チャンネルと、４つの排気口チャンネルと、それぞれが前記吸気口チャンネルから対応する１つの前記排気口チャンネルを通る流量を制御するように配置される４つの制御バルブと、前記吸気口チャンネルから前記対応する排気口チャンネルを通る流量を制御することにより、（ａ）第１の対の前記排気口チャンネルの第１の流量比と、（ｂ）第２の対の前記排気口チャンネルの第２の流量比と、（ｃ）前記第２の対の排気口チャンネルに対する前記第１の対の排気口チャンネルの第３の流量比と、を制御する流量比制御システムと、を備え、前記第３の流量比は、少なくとも１対のバルブにそれぞれ印加される少なくとも１つのバイアス信号を生成することによって制御され、前記バイアス信号は、前記第３の流量比の所定の設定点と前記第３の流量比の計測値との関数であることを特徴とする。