Verfahren zur Erstellung von Elementverteilungsbildern mit einem Transmissionselektronenmikroskop

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erstellung von Elementverteilungsbildern mit einem Transmissionselektronenmikroskop, bei dem die Probe mit einem Elektronenstrahl durchleuchtet und der Elektronenstrahl nach Durchgang durch die Probe durch ein Energiefilter geleitet wird, der nur Elektronen innerhalb eines Energiefensters passieren lässt, das auf eine durch unelastische Streuung der Elektronen an einem darzustellenden Element gegenüber der Primärenergie reduzierte Energie der Elektronen eingestellt ist. Bei dem Verfahren werden Elektronen des gefilterten Elektronenstrahls, die ohne Strahlablenkung durch die Probe gelangt sind, mit einem Detektor erfasst. Das vorgeschlagene Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass das Transmissionselektronenmikroskop zur Erzeugung des Elementverteilungsbildes im STEM-Modus betrieben wird. Mit dem Verfahren können Elementverteilungsbilder hoher Bildqualität erhalten werden.