一种热压法制备PDMS印章的方法

摘要

本发明公开了一种热压法快速制备PDMS印章的方法，属于纳米印压技术领域。具体的操作步骤如下：(1)加工模板及对模板表面进行处理；(2)用模板对聚合物实施热压得到聚合物模具；(3)用聚合物模具制备PDMS印章。本发明首先利用热压印的方法制备聚合物模板，以此作为中间媒介，旋涂或浇铸PDMS预聚体和固化剂的混合物质聚合物木板上，最后固化脱模。该方法缩短了制备PDMS印章的时间，制备的PDMS印章精度高，适于广泛应用与软刻蚀和紫外压印等领域。

主权项

一种热压法制备PDMS印章的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)加工模板及对模板表面进行处理：采用感应耦合等离子体刻蚀硅和对硅结构微电铸镍，得到金属镍模板，然后清洗模板表面；(2)用模板对聚合物实施热压得到聚合物模具：用步骤(1)中得到的模板利用模压机对聚合物材料进行热压，将模板和片状聚合物加热到200～220℃，施加压力500～600N，维持50～60s，然后将温度和压力降为常温常压，最后脱模得到聚合物模具；(3)用聚合物模具制备PDMS印章：将PDMS预聚体和对应的固化剂按体积比为10:1混合搅拌，放入真空箱脱气30min，然后将PDMS混合物通过甩胶台旋涂到步骤(2)中得到的聚合物模具上，放入烘箱65℃烘烤固化2～2.5h，最后从PC模具上揭开PDMS，得到PDMS印章。