一种旋转磁场平面阴极

摘要

本发明公开了一种旋转磁场平面阴极，包括屏蔽罩、绝缘基座、冷却池、磁钢旋转装置、靶座和靶，所述屏蔽罩拧接在圆盘形状的绝缘基座的上方，所述冷却池设置在屏蔽罩内，并固定在绝缘基座的上方，所述冷却池内悬置有磁钢旋转装置，所述靶座固定在冷却池的上方，且与冷却池的接触面上设有橡胶密封圈，所述靶通过导热硅胶贴合在靶座的上方，所述靶的周圈还设有金属压环，所述金属压环用于将靶、靶座固定。本发明的旋转磁场平面阴极，与传统旋转圆形平面靶相比扩大了靶的均匀溅射面积，从而进一步提高靶材利用率和溅射速率，实现大面积均匀快速沉积薄膜，具有良好的应用前景。

主权项

一种旋转磁场平面阴极，其特征在于：包括屏蔽罩（1）、绝缘基座（2）、冷却池（3）、磁钢旋转装置（4）、靶座（5）和靶（6），所述屏蔽罩（1）拧接在圆盘形状的绝缘基座（2）的上方，所述冷却池（3）设置在屏蔽罩（1）内，并固定在绝缘基座（2）的上方，所述冷却池（3）内悬置有磁钢旋转装置（4），所述靶座（5）固定在冷却池（3）的上方，且与冷却池（3）的接触面上设有橡胶密封圈（34），所述靶（6）通过导热硅胶贴合在靶座（5）的上方，所述靶（6）的周圈还设有金属压环（7），所述金属压环（7）用于将靶（6）、靶座（5）固定；所述磁钢旋转装置（4）包括磁钢安置底座（41）、磁钢（42）、冷却水进水管（43）、冷却水开孔（44），所述冷却水进水管（43）焊接在磁钢安置底座（41）的底部，所述冷却水开孔（44）位于磁钢安置底座（41）内，并与冷却水进水管（43）相联通，所述冷却水进水管（43）向下一侧延伸出冷却池（3）、绝缘基座（2）作为驱动杆与控制磁钢旋转装置（4）旋转的外部旋转装置的相连接；所述冷却池（3）的底部还设有阴极电极（31）、冷却水出水管（32），并延延伸出绝缘基座（2）。