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发明名称
摘要
申请公布号 JP2751360(B2) 申请公布日期 1998.05.18
申请号 JP19890091271 申请日期 1989.04.10
申请人 NITSUSHIN DENKI KK 发明人 SAKAI SHIGEKI;OGATA KYOSHI;NISHAMA SATORU;MURAMATSU SATOSHI
分类号 C30B23/08;C30B29/06;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/06 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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