一种用于环境监测传感器的气敏元件及环境监测传感器

摘要

本发明公开了一种用于环境监测传感器的气敏元件以及环境监测传感器，所述气敏元件包括基板和在基板上刻蚀的至少一道光波导底板，所述底板上设置有光波导层，所述光波导层上设置有高灵敏度层，所述高灵敏度层的成分为95%～99.5%的五氧化二钽和0.5%～5%的钇，所述高灵敏度层的厚度为50～200nm，所述高灵敏度层上设置有气体敏感材料层。本发明的气敏元件，采用五氧化二钽和钇形成高灵敏度层，并在高灵敏度层上设置气体敏感材料层，由此形成的气敏元件灵敏度高，抗干扰能力强，精度高，并且加工工艺简单、成本低廉、操作方便。通过在气敏元件的基板上刻蚀多道光波导底板，可以对环境空气中多种痕量有机气体实现同时监测。

主权项

一种用于环境监测传感器的气敏元件，包括基板和在基板上刻蚀的至少一道光波导底板，在所述光波导底板上设置有光波导层，所述光波导层上设置有高灵敏度层，其特征在于，所述高灵敏度层的成分为95%～99.5%的五氧化二钽和0.5%～5%的钇，所述高灵敏度层的厚度为50～200nm，所述高灵敏度层上设置有气体敏感材料层。