发明名称 |
一种冷泵再生的控制方法和系统 |
摘要 |
本发明实施例提供了一种冷泵再生的控制方法,所述冷泵与系统干泵相连,所述方法,包括以下步骤:接收等待再生的冷泵提交的再生执行请求,依据所述请求申请所述系统干泵的使用权;当获得所述系统干泵的使用权时,关闭与所述系统干泵关联的所有抽气阀;关闭所述等待再生的冷泵及其对应腔室的门阀;发送再生启动指令至所述等待再生的冷泵;所述等待再生的冷泵用于依据所述再生指令执行再生;当所述等待再生的冷泵完成再生后,释放所述系统干泵的使用权。本发明通过设定系统干泵为共享资源来进行管理、协调冷泵执行再生操作,实现了冷泵再生时的设备的自动化管理与协调,避免因误操作而引发的气体倒灌问题。 |
申请公布号 |
CN104279149A |
申请公布日期 |
2015.01.14 |
申请号 |
CN201310279718.4 |
申请日期 |
2013.07.04 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
杨洋 |
分类号 |
F04B49/06(2006.01)I;F04B37/08(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I |
主分类号 |
F04B49/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 |
代理人 |
赵娟 |
主权项 |
一种冷泵再生的控制方法,其特征在于,所述冷泵与系统干泵相连,所述方法,包括以下步骤:接收等待再生的冷泵提交的再生执行请求,依据所述请求申请所述系统干泵的使用权;当获得所述系统干泵的使用权时,关闭与所述系统干泵关联的所有抽气阀;关闭所述等待再生的冷泵及其对应腔室的门阀;发送再生启动指令至所述等待再生的冷泵;所述等待再生的冷泵用于依据所述再生指令执行再生;当所述等待再生的冷泵完成再生后,释放所述系统干泵的使用权。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号 |