发明名称 |
一种麦克风器件 |
摘要 |
本实用新型提供一种麦克风器件,所述麦克风器件至少包括振动膜结构,所述振动膜结构包括:衬底,所述衬底具有上下贯通的背腔;振动膜,架设在所述背腔的上方,所述振动膜边缘设置有多个与背腔连通的释放孔,所述释放孔包括圆孔和与所述圆孔连通的若干条枝杈结构;所述麦克风器件还包括以空气间隙为间隔形成于所述振动膜上方的上极板、以及用于支撑并固定所述上极板的支撑体。本实用新型提供的麦克风器件中,其振动膜边缘释放孔的形状设置为圆孔加枝杈结构,通过枝杈结构能够确保振动膜上、下两侧形成的压力差均匀地传递到其他位置,从而避免声音信号过大时产生的压力差对振动膜造成损坏。 |
申请公布号 |
CN204104095U |
申请公布日期 |
2015.01.14 |
申请号 |
CN201420585027.7 |
申请日期 |
2014.10.10 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
刘炼;李卫刚;郑超;王伟;郭亮良 |
分类号 |
H04R1/08(2006.01)I |
主分类号 |
H04R1/08(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
李仪萍 |
主权项 |
一种麦克风器件,其特征在于,所述麦克风器件至少包括振动膜结构,所述振动膜结构包括:衬底,所述衬底具有上下贯通的背腔;振动膜,架设在所述背腔的上方,所述振动膜边缘设置有多个与所述背腔连通的释放孔,所述释放孔包括圆孔和与所述圆孔连通的若干条枝杈结构。 |
地址 |
100176 北京市大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |