| 摘要 |
本発明は、以下（Ａ）〜（Ｅ）の工程段階：（Ａ）７０質量％を上回るポリアルキルシロキサンＤ４を有する液状のＳｉＯ2供給材料（１０５）を準備する工程、（Ｂ）該液状のＳｉＯ2供給材料（１０５）を気化させてガス状のＳｉＯ2供給蒸気（１０７）にする工程、（Ｃ）該ＳｉＯ2供給蒸気（１０７）を変換してＳｉＯ2粒子にする工程、（Ｄ）該ＳｉＯ2粒子を、ＳｉＯ2スート体（２００）を形成させながら堆積面（１６０）に堆積させる工程、（Ｅ）該ＳｉＯ2スート体を、合成石英ガラスを形成させながらガラス化する工程を含む、合成石英ガラスの製造法に関する。本発明によれば、前記加熱されたＳｉＯ2供給材料（１０５）の前記気化が、前記ＳｉＯ2供給材料（１０５）を霧化して微細な液滴にする、膨張チャンバー（１２５）内での注入段階を含み、ここで、該液滴は５μｍ未満、好ましくは２μｍ未満の平均直径を有することを予定している。 |
