| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Fixierung von L-Blenden, die zur Abgrenzung eines Plasmaraumes eines Magnetrons in einer Anlagenkammer einer Durchlaufanlage vorgesehen sind, wobei das Magnetron in einer Anlagenkammer über einer Transportebene für durch die Anlagenkammer transportierbare Substrate angeordnet ist und wobei die Blenden beidseitig des Magnetrons angeordnet sind und deren untersten Schenkel der L-Blenden einwärts aufeinander gerichtet sind, Durch die Erfindung soll eine Vorrichtung zur Aufnahme von L-Blenden geschaffen werden, die einen konkreten Bezugspunkt zu einem Transportsystem unterhalb der L-Blenden schafft. Erreicht wird das dadurch, dass die L-Blenden (3) an einem Tragbalken (14) montiert sind, wobei sich die Enden der Tragbalken (14) seitlich auf Fixpunkten in Form von Kühlplatten (16) abstützen, die in der seitlichen Kammerwand (18) der Anlagenkammer (1) fixiert sind.</p> |
