用于反射差分光谱测量的紧凑式全光谱光学测头装置

摘要

本发明公开了一种用于反射差分光谱测量的紧凑式全光谱光学测头装置，包括入射光纤、离轴抛物反射镜、起偏器、旋转补偿器、检偏器、第一凹面反射镜、第二凹面反射镜和出射光纤；光源经入射光纤入射，经过离轴抛物反射镜变为平行或汇聚光束，该平行或汇聚光束经过起偏器变为线性偏振光后，再经过旋转补偿器进行信号调制，调制后的光照射到测试样品表面；经由测试样品反射的光经检偏器成为线性偏振光后，再依次经过第一凹面反射镜和第二凹面反射镜后，汇聚在出射光纤的入口；自所述离轴抛物反射镜至所述第一凹面反射镜之间形成的往返光束的中心线夹角小于4°。本发明体积小、重量轻、调节简便、性能可靠，可应用于超真空环境中的在线检测。

主权项

一种用于反射差分光谱测量的紧凑式全光谱光学测头装置，其特征在于，包括入射光纤(1)、离轴抛物反射镜(2)、起偏器(3)、旋转补偿器(6)、检偏器(10)、第一凹面反射镜(12)、第二凹面反射镜(13)和出射光纤(14)；光源经入射光纤(1)入射，经过离轴抛物反射镜(2)变为平行或汇聚光束，该平行或汇聚光束经过起偏器(3)变为线性偏振光后，再经过旋转补偿器(6)进行信号调制，调制后的光照射到测试样品表面；经由测试样品反射的光经检偏器(10)成为线性偏振光后，再依次经过第一凹面反射镜(12)和第二凹面反射镜(13)后，汇聚在出射光纤(14)的入口；自所述离轴抛物反射镜(2)至所述第一凹面反射镜(12)之间形成的往返光束的中心线夹角小于4°。