用于电浆蚀刻性能增强的方法

摘要

提供一种用于在一介电层中蚀刻特征的方法。在该介电层上形成一遮罩。在该遮罩的暴露表面上形成一保护性含矽涂层。藉由该遮罩和保护性含矽涂层来蚀刻该些特征。在形成该保护性含矽涂层之前,可局部地蚀刻该些特征。