经氧化物隔离之金属矽闸接面场效电晶体(JFET) OXIDE ISOLATED METAL SILICON-GATE JFET

摘要

一种具有自行配向金属源极、汲极及闸极接点的JFET结构,其系具有极低的电阻率和极小的外观尺寸。在薄介电层中蚀刻出微小的源极、汲极及闸极开口,该薄介电层系具有根据想要的源极、闸极及汲极开口大小而设定之厚度,该介电层具有一氮化物上层。在该介电层上面沉积有金属以填满该等开口,并且研磨该金属回到该介电层的顶面以完成细薄的源极、汲极及闸极接点。有些具体实施例包含衬于该等接点孔里的防漏多晶矽层,而所有可能出现尖突的具体实施例都包含一阻障金属层。