具有阶梯部的定位环

摘要

本发明涉及具有阶梯部的定位环。本发明提供一种两部分定位环(101)。刚性上部(110)沿其内径设有环形凹部。环形耐磨下部(105)具有内径、由内径界定的环形延伸部、以及垂直于第二部份的表面且与内径相对的垂直壁。环形延伸部可适配至环形第一部份的环形凹部。环形第二部份的垂直壁上设有结合材料。

主权项

一种定位环，所述定位环包括：上环；和下环，所述下环由在化学机械抛光处理中具有化学惰性的塑料制成，其中，所述下环具有下环下表面和下环上表面，所述下环下表面与拋光垫接触，所述下环上表面位置邻近所述上环的上环下表面，其中，所述下环包括环形阶梯部，所述环形阶梯部邻近所述定位环的内径，所述环形阶梯部由所述下环垂直突出至所述上环的对应凹部；和结合层，所述结合层位于所述阶梯部和所述凹部之间；其中，所述定位环不包括其它阶梯部和其他对应凹部特征件，并且其中，在所述阶梯部的更靠近所述下环的外径的一侧上，所述阶梯部包括阶梯部垂直壁，在所述凹部的更靠近所述上环的外径的一侧上，所述凹部包括凹部垂直壁，所述阶梯部垂直壁与所述凹部垂直壁平行。