电浆产生装置及使用该产生装置之工件处理装置

摘要

一种电浆产生装置被提供，其包括：一微波产生部分，其产生一微波；一波导，用于传播微波；复数电浆产生喷嘴，其被附接至波导以便在微波被传导的方向上彼此被分开，接收微波，且基于此微波的能量产生并发射电浆气体；及复数针刺，其对应于电浆产生部分的一部或全部且各自被设置在波导中，以便在微波被传导的方向上彼此被分开一预定距离位于一背面的位置。