一种应用在涂胶机上的光刻胶过滤回收循环系统

摘要

本实用新型公开了一种应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统，包括光刻胶供给槽、光刻胶补给液槽、光刻胶过滤液回收液槽，光刻胶供给槽有管道与涂胶机相连通；涂胶机有管道与光刻胶过滤液回收液槽相连通，管道上串联第一自吸式水泵、光刻胶过滤器；光刻胶过滤液回收液槽有管道与光刻胶供给槽相连通，管道上有第二自吸式水泵；光刻胶补给液槽有管道与光刻胶供给槽相连通，管道上有第三自吸式水泵；光刻胶供给槽一侧设置有检测上水位传感器和检测下水位传感器，分别与第二自吸式水泵相连接；所述光刻胶供给槽在补给液管道进口处设置有补充液监控传感器，连接报警灯并与第三自吸式水泵连接。

主权项

一种应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统，其特征在于：该系统包括光刻胶供给槽、光刻胶补给液槽、光刻胶过滤液回收液槽，所述光刻胶供给槽设置有光刻胶供给管道，与涂胶机相连通，为涂胶机提供光刻胶；所述涂胶机设置有回收管道，与光刻胶过滤液回收液槽相连通，所述回收管道上间隔串联设置有第一自吸式水泵、光刻胶过滤器；所述光刻胶过滤液回收液槽设置有回收过滤液管道，与光刻胶供给槽相连通，所述回收过滤液管道上设置有第二自吸式水泵；所述光刻胶补给液槽设置有补给液管道，与光刻胶供给槽相连通，所述补给液管道上设置有第三自吸式水泵；所述光刻胶供给槽一侧设置有检测上水位传感器和检测下水位传感器，分别与第二自吸式水泵相连接，所述检测上水位传感器控制第二自吸式水泵的关闭；所述检测下水位传感器控制第二自吸式水泵的打开，通过检测上水位传感器、检测下水位传感器对第二自吸式水泵的控制，进而控制光刻胶供给槽中光刻胶容量的范围恒定；所述光刻胶供给槽在补给液管道进口处设置有补充液监控传感器，所述补充液监控传感器连接报警灯并与第三自吸式水泵连接。