一种槽式湿法设备用插片盒

摘要

本实用新型提供一种槽式湿法设备用插片盒，包括基座、圆柱形插杆、硅片限位杆Ⅰ、硅片限位杆Ⅱ、手提式拉杆，硅片限位杆Ⅰ以及硅片限位杆Ⅱ设有卡槽，卡槽为圆弧面结构，圆柱形插杆垂直固定在基座上，硅片限位杆Ⅰ以及硅片限位杆Ⅱ水平固定在圆柱形插杆之间，手提式拉杆垂直固定在基座上。硅片棱边与卡槽采用圆弧面接触方式，使得接触面积减小，有效改善硅片边缘直接与插片盒接触的部位反应不均、边缘发白现象；圆柱形插杆以及硅片限位杆Ⅰ的位置可变化，因此该插片盒可用于插不同尺寸的硅片。

主权项

一种槽式湿法设备用插片盒，包括基座（1）、圆柱形插杆（2），基座（1）上表面开设有矩形插槽（6），圆柱形插杆（2）下端设置有矩形插头(11)，圆柱形插杆（2）通过将矩形插头（11）插入矩形插槽（6）固定在基座（1）上，其特征在于，基座（1）内侧中部还开设有圆形插槽Ⅰ（10），硅片限位杆Ⅱ（4）通过插入圆形插槽Ⅰ（10）固定在两基座之间，圆柱形插杆（2）内侧开设有圆形插槽Ⅲ（8），硅片限位杆Ⅰ（3）通过插入圆形插槽Ⅲ（8）固定在圆柱形插杆（2）上，硅片限位杆Ⅰ（3）以及硅片限位杆Ⅱ（4）内侧开设有排布均匀的具有圆弧面的卡槽（9），卡槽（9）与硅片（12）棱边通过圆弧面接触。