| 发明名称 | 使用红外探测的用于处理系统的原位基板探测 | ||
| 摘要 | 红外探测被用于监测在气相传输沉积处理室内的温度。当基板经过红外探测器时发生的温度的改变被探测并被用于精确地定位基板在室内的位置。还可实现基板的位置校正。 | ||
| 申请公布号 | CN104272057A | 申请公布日期 | 2015.01.07 |
| 申请号 | CN201380009253.9 | 申请日期 | 2013.02.12 |
| 申请人 | 第一太阳能有限公司 | 发明人 | 本杰明·米妮蓉;戴尔·罗伯茨;戴维·伯杰;威廉·洛根 |
| 分类号 | G01B11/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人 | 韩芳 |
| 主权项 | 一种方法，包括：使用红外探测器监测在基板处理室的一部分内的温度；凭借基板的通过来确定何时发生温度的改变；以及通过所述的确定的温度的改变来识别基板在处理室内的位置。 | ||
| 地址 | 美国俄亥俄州佩里斯堡 | ||