发明名称 |
气液混合装置以及清洗设备 |
摘要 |
本发明涉及显示装置制备工艺技术领域,具体涉及一种清洗设备的气液混合装置以及包括该气液混合装置的清洗设备。一种清洗设备的气液混合装置,包括混合腔室以及分别连通至所述混合腔室的高温气体通道以及高温液体通道,所述高温气体通道包括至少两个输出流量不同的高温气体通道。本发明所提供的清洗设备的气液混合装置,通过设置不同流量的高温气体通道,利用流量较大的高温气体通道实现快速输入高温气体,利用流量较小的第二高温气体通道精确控制混合到高温液体中的高温气体的比例。 |
申请公布号 |
CN103301761B |
申请公布日期 |
2015.01.07 |
申请号 |
CN201310231335.X |
申请日期 |
2013.06.09 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
发明人 |
翁铭廷;郭知广;张毅;程大富;尹希磊 |
分类号 |
B01F3/04(2006.01)I;B01F5/00(2006.01)I;B08B11/00(2006.01)I |
主分类号 |
B01F3/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
王莹 |
主权项 |
一种清洗设备的气液混合装置,其特征在于,包括混合腔室以及分别连通至所述混合腔室的高温气体通道以及高温液体通道,所述高温气体通道包括至少两个输出流量不同的高温气体通道;所述高温气体通道包括第一高温气体通道以及第二高温气体通道,所述第一高温气体通道的输出端设置有毫米级气体出口,所述第二高温气体通道的输出端设置有微米级气体出口。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |