静电吸盘及其制造方法

摘要

[课题]提供一种静电吸盘可减少污染物由基板吸附面附着在基板，同时可一面将基板的接触面积保持为最适，一面有效进行透过静电吸盘的冷却。;[解决手段]本发明系一种静电吸盘，系将具备有由弹性材料所构成之复数凸部的弹性吸附层作为基板吸附面，隔着该弹性吸附层来吸附/保持基板的静电吸盘，其中，将弹性吸附层中之凸部的高度设为h、基板吸附面中之平均单位面积的凸部数设为n、凸部中之顶面的面积设为A、形成凸部之弹性材料的弹性系数设为E，当以吸附力F吸附/保持全体平坦度为Wh的基板时，凸部以吸附力F所作用的方向进行收缩的量δ满足以下关系式(1)，而且基板吸附面中之平均单位面积的凸部顶面的总面积的比例ξ为10%以上：;5Wh≧δ≧0.5Wh，在此δ=(h/nA)(F/E)……(1);[其中，各值的单位系分别表示在括弧内；Wh(m)、h(m)、n(个/m2)、A(m2)、E(Pa)、F(Pa)、δ(m)]。

主权项

一种静电吸盘，系将具备有由弹性材料所构成之复数凸部的弹性吸附层作为基板吸附面，隔着该弹性吸附层来吸附/保持基板的静电吸盘，其特征为：将弹性吸附层中之凸部的高度设为h、基板吸附面中之平均单位面积的凸部数设为n、凸部中之顶面的面积设为A、形成凸部之弹性材料的弹性系数设为E，当以吸附力F吸附/保持全体平坦度为Wh的基板时，凸部以吸附力F所作用的方向进行收缩的量δ满足以下关系式(1)，而且基板吸附面中之平均单位面积的凸部顶面的总面积的比例ξ为10%以上：5Wh≧δ≧0.5Wh,在此δ=(h/nA)(F/E)……(1)[其中，各值的单位系分别表示在括弧内；Wh(m)、h(m)、n(个/m2)、A(m2)、E(Pa)、F(Pa)、δ(m)]。