脆性材料基板的搬送方法及搬送装置

摘要

本发明提供一种将具有于纵向及横向上整齐排列地形成之功能区域之基板断开，并分别将功能区域与成为其周围之边角材料之区域个别地归拢搬送的搬送方法及搬送装置。;利用第1搬送头13，以头部30吸附脆性材料基板90之部之功能区域并利用线性滑块12沿梁11之方向进行搬送。利用第2搬送头14，以头部50归拢吸附成为周围之边角材料之区域并利用线性滑块12沿梁11之方向进行搬送。