| 发明名称 |
鋶化合物 |
| 摘要 |
本发明提供一种由如下化学式(Ia)表示之鋶化合物：;(Ia);其中Q1及Q2各自独立表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R1表示具有β-酮酯结构之C5-C42有机基及A+表示有机抗衡离子，及一种包括以上提及之鋶化合物及一树脂之化学增幅型光阻组合物，该树脂包括具有酸不稳定性基团之结构单元，且不溶或难溶于硷水溶液，然而可藉由酸之作用而溶于硷水溶液。 |
| 申请公布号 |
TWI466860 |
申请公布日期 |
2015.01.01 |
| 申请号 |
TW099108569 |
申请日期 |
2010.03.23 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 日本 |
发明人 |
增山达郎;重松淳二;朴汉雨 |
| 分类号 |
C07C381/12;C07C309/17;G03F7/039 |
主分类号 |
C07C381/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
一种由如下化学式(Ia)表示之鋶化合物：其中Q1及Q2各自独立表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R1表示具有β-酮酯结构之C5-C42有机基及A+表示有机抗衡离子。 |
| 地址 |
日本 |
