| 发明名称 |
放电灯、光源装置、曝光装置、及曝光装置之制造方法 |
| 摘要 |
本发明系一种可轻易地在短时间对安装机构装设放电灯等之光源装置。该光源装置具有：放电灯(1)，其系具有：形成发光部之玻璃管(25)及与其连结之灯座部(26)；及安装装置(31)，其系经由灯座部(26)而保持放电灯(1)；灯座部(26)具有：凸缘部(26a)，其系与安装装置(31)之定位板(50)抵接；及固定部(26h)，其系施加将凸缘部(26a)挤压于定位板(50)之挤压力；安装装置(31)具有藉由压缩线圈弹簧(44A)对固定部(26H)施力之固定用支臂(55A)。 |
| 申请公布号 |
TWI467633 |
申请公布日期 |
2015.01.01 |
| 申请号 |
TW096132475 |
申请日期 |
2007.08.31 |
| 申请人 |
尼康股份有限公司 日本 |
发明人 |
白数广;青木保夫;小山元夫;菊池孝幸 |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈传岳 台北市大安区仁爱路3段136号13楼;郭雨岚 台北市大安区仁爱路3段136号13楼 |
| 主权项 |
一种放电灯，系具有：玻璃构件，其系形成发光部；及灯座构件，其系连结于该玻璃构件；其特征为：前述放电灯经由前述灯座构件，可装卸地保持于与该放电灯另外设置之保持构件；前述灯座构件具有：抵接部，其系与前述保持构件抵接，以限制前述保持构件，前述发光部在第一方向上之位置；被施力部，包含设于前述灯座构件之开放端附近的凹部，前述被施力部被施加沿着前述第一方向，将前述抵接部挤压于前述保持构件之挤压力；嵌合部，其系设于前述抵接部与前述被施力部之间，而与前述保持构件嵌合；及沟部，其系设于前述嵌合部中并连通于前述凹部，在与前述保持构件之间构成自前述抵接部附近至前述被施力部之冷却用媒介的流路。 |
| 地址 |
日本 |
