发明名称 |
氧化锌基的溅镀靶材与具有使用氧化锌基溅镀靶材所沉积之钝化层的太阳能电池;ZNO-BASED SPUTTERING TARGET AND PHOTOVOLTAIC CELL HAVING PASSIVATION LAYER DEPOSITED USING THE SAME |
摘要 |
本发明揭示一种可用于直流(DC)溅镀的氧化锌(ZnO)基溅镀靶材及一种具有使用氧化锌基溅镀靶材所沉积之钝化层的太阳能电池。该ZnO基溅镀靶材包含由ZnO所制成的烧结主体且该ZnO掺杂有10重量%至60重量%的氧化镓,及包含接合于该烧结主体背面以用于支撑该烧结主体的背板。该钝化层能防止光吸收层因组成改变而导致效率降低。 |
申请公布号 |
TW201500191 |
申请公布日期 |
2015.01.01 |
申请号 |
TW103118466 |
申请日期 |
2014.05.27 |
申请人 |
三星康宁先进玻璃有限责任公司 |
发明人 |
李伦圭;高榥庸;朴柱玉;徐寿莹 |
分类号 |
B32B18/00(2006.01);B32B9/00(2006.01);B32B7/02(2006.01);C04B35/453(2006.01);C23C14/34(2006.01);H01L31/04(2014.01) |
主分类号 |
B32B18/00(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财李世章 |
主权项 |
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地址 |
南韩 |