发明名称 |
加工方法及加工设备 |
摘要 |
本发明提供一种固化一材料之设备及方法。在固化制程过程中,转动一例如底填封胶材料的材料。固化设备包括一腔体、一用以支撑至少一工作件之承座以及一转动机构。在固化制程过程中,转动机构转动工作件。腔体包括至少一热源及至少一风扇,且更包括一控制器。固化制程包括改变转动速度、连续性转动、周期性转动等。 |
申请公布号 |
TWI467670 |
申请公布日期 |
2015.01.01 |
申请号 |
TW101112179 |
申请日期 |
2012.04.06 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
发明人 |
卢景睿;刘育志;宋明忠;林韦廷;张建国 |
分类号 |
H01L21/56 |
主分类号 |
H01L21/56 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
一种加工方法,包括:摆设一工作件于一腔体内,其中该腔体用以旋转该工作件;以及在该工作件的制程中绕一轴线转动该工作件,使该工作件之一表面系平行于该轴线。 |
地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |