发明名称 加工方法及加工设备
摘要 本发明提供一种固化一材料之设备及方法。在固化制程过程中,转动一例如底填封胶材料的材料。固化设备包括一腔体、一用以支撑至少一工作件之承座以及一转动机构。在固化制程过程中,转动机构转动工作件。腔体包括至少一热源及至少一风扇,且更包括一控制器。固化制程包括改变转动速度、连续性转动、周期性转动等。
申请公布号 TWI467670 申请公布日期 2015.01.01
申请号 TW101112179 申请日期 2012.04.06
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 发明人 卢景睿;刘育志;宋明忠;林韦廷;张建国
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项 一种加工方法,包括:摆设一工作件于一腔体内,其中该腔体用以旋转该工作件;以及在该工作件的制程中绕一轴线转动该工作件,使该工作件之一表面系平行于该轴线。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号