微区块涂布装置及其方法

摘要

一种微区块涂布装置，藉由一驱动机构控制数个导管及一待涂布基板平行相对移动，并将导管内之微多相流推向导管之出口端，涂布在基板上，以形成微区块图案。该微多相流系由多个主要流体及一次要流体相互截断形成。在另一实施例中，该导管为一涂布模组所取代，涂布模组内部形成微通道结构，其包括有至少一主要流体入口及至少一次要流体入口，可分别供应主要流体及次要流体，在微通道结构中相互截断形成微多相流。

主权项

一种微区块涂布方法，用以在一待涂布基板上涂布微区块，该微区块涂布方法包括下列步骤：(a)制备至少一微多相流，其系一主要流体及一次要流体重复间隔形成；(b)将该微多相流供应至至少一导管；(c)藉由一流体驱动机构，将微多相流运送至该导管之一出口端；(d)由一驱动机构控制该导管及该待涂布基板彼此相对移动，使得该导管中的该微多相流由该出口端涂布在该待涂布基板上，并形成微区块。