硅片甩干装置

摘要

本发明公开了一种对硅片进行甩干的硅片甩干装置，包括上端开口、下端密封的壳体，壳体内设置有旋转桶，以及驱动旋转桶旋转的驱动机构，所述旋转桶上具有容放硅片的容置腔，旋转桶上开有出水孔，出水孔与容置腔连通，所述容置腔内周壁还设有对硅片进行限位的限位柱。在使用本发明时，将需要甩干的硅片放置在容置腔内，由容置腔内中的四根限位柱对硅片进行限位保护，在启动驱动电机带动旋转盘进行转动，同时带动固定在旋转盘上的旋转桶旋转，从而对硅片进行甩干，容置腔内的硅片甩出的水由出水孔排出，硅片甩干后直接取出即可。本发明结构简单、使用方便，适于推广应用。

主权项

硅片甩干装置，其特征在于：包括上端开口、下端密封的壳体，壳体内设置有旋转桶，以及驱动旋转桶旋转的驱动机构，所述旋转桶上具有容放硅片的容置腔，旋转桶上开有出水孔，出水孔与容置腔连通，所述容置腔内周壁还设有对硅片进行限位的限位柱。