微机电传感器的形成方法

摘要

本发明提供微机电传感器的形成方法，包括：提供基底，基底上形成有若干数目的微机电传感器件区，及与每个微机电传感器区相邻的焊盘区，所述微机电传感区表面形成微机电传感电极，焊盘区表面形成有焊盘电极；在基底上沉积介质层，所述介质层内形成有第一空腔及第二空腔，所述第一空腔暴露出所述微机电传感电极表面，第一空腔内还形成有可动部件，第二空腔暴露出所述焊盘电极表面；对相邻的微机电传感器区进行切割分离，所述切割口至少贯穿所述第二空腔，直至暴露所述焊盘电极，分离所述相邻的微机电传感器。本发明第二空腔暴露出焊盘电极，进行微机电传感器切割，只需切割口贯穿第二空腔即进行分离，降低所述微机电传感器的切割难度。

主权项

一种微机电传感器的形成方法，所述微机电传感器包括微机电传感器区及与其相邻的焊盘区，其特征在于，包括： 提供基底，所述基底上形成有若干数目的微机电传感器区，及与每个微机电传感器区相邻的焊盘区，所述微机电传感器区表面形成有微机电传感电极，所述微机电传感电极包括顶部电极和底部电极，所述焊盘区表面形成有焊盘电极； 在所述基底上沉积介质层，所述介质层内形成有第一空腔及第二空腔，所述第一空腔暴露出所述微机电传感电极表面，所述第一空腔内还形成有可动部件，所述第二空腔暴露出所述焊盘电极表面； 对相邻的微机电传感器进行切割分离，切割后的切割口至少贯穿所述第二空腔，直至暴露所述焊盘电极，分离所述相邻的微机电传感器。