一种曲面复眼的制备方法

摘要

本发明公开了一种曲面仿生复眼的制备方法，具体为：在衬底上制备微凹透镜阵列；在凹透镜阵列表面沉积聚二甲基硅氧烷，固化处理后将其与凹透镜阵列分离得到聚二甲基硅氧烷的微凸透镜阵列；将SU-8光刻胶滴在曲面基底的下表面，待SU-8冷却固化后，将聚二甲基硅氧烷微透凸镜阵列四周固定在曲面基底的上表面；对曲面基底上表面进行紫外曝光，再对SU-8胶后烘得到自对准的波导阵列。本发明放弃了直接在曲面基底上制作微凸透镜阵列的方法，先制作出平面微凸透镜阵列后再利用材料的弹性制作出曲面微透镜阵列，同时采用自对准方法制作晶锥波导，该方法能够制备出微米级的曲面透镜阵列，有效减少了透镜和波导对准时带来的误差，同时精确的控制曲面曲率，具有良好的可重复性。

主权项

一种曲面仿生复眼的制备方法，具体为： 步骤1在衬底上制备微凹透镜阵列； 步骤2在凹透镜阵列表面沉积聚二甲基硅氧烷，固化处理后将其与凹透镜阵列分离得到聚二甲基硅氧烷的微凸透镜阵列； 步骤3将前烘过的SU‑8光刻胶填充在预先定制的曲面基底的下表面，待SU‑8光刻胶冷却固化后，将聚二甲基硅氧烷微凸透镜阵列不带微透镜阵列的一面固定在曲面基底的上表面； 步骤4对曲面基底上表面进行紫外曝光，使紫外光垂直入射曲面基底上表面，通过PDMS微凸透镜聚焦后对SU‑8光刻胶曝光，再对SU‑8光刻胶后烘得到自对准的波导阵列。