六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统

摘要

本发明公开了六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统，包括混合气体回收管路，混合气体回收管路分别连接有循环净化管路、六氟化硫提纯管路和四氟化碳提纯管路。本发明克服了市面上的六氟化硫气体回收净化设备不能分离提纯四氟化碳气体的缺点，不仅实现了六氟化硫和四氟化碳气体的分离和分别提纯，并且集气体的回收、分别分离提纯和回充技术于一体，具有功能齐全、操作简单、经济适用等特点。

主权项

六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统，其特征在于：包括混合气体回收管路，混合气体回收管路分别连接有循环净化管路、六氟化硫提纯管路和四氟化碳提纯管路；所述混合气体回收管路包括依次通过第一高压管（1）连接的回收口自封接头（2）、第一电磁阀（V2），风冷机（3）、分子筛（4）、第一手动常开阀（C1）、第一压缩机（5）、风冷机（3）旁路、第一单向阀（6）、第一冷热交换器（7）、第二电磁阀（V9）、第三电磁阀（V8）、第二手动常开阀（C2）和六氟化硫提纯罐（8）；第一冷热交换器（7）通过第四电磁阀（D1）连接有第一制冷机（9）；第一高压管（1）在第一电磁阀（V2）进出口两侧连接有真空压缩机（10），真空压缩机（10）的进口端和出口端分别设有第五电磁阀（V3）和第六电磁阀（V4）；第一高压管（1）在回收口自封接头（2）处设有第一压力传感器（P7）、在第一电磁阀（V2）进口侧设有第一压力表（11）、在分子筛（4）的进口侧设有第二压力传感器（P1）、在第一单向阀（6）和第一冷热交换器（7）之间设有第一压力控制开关（YL1）；所述循环净化管路包括伸入到六氟化硫提纯罐（8）内底部的第二高压管（12），第二高压管（12）的另一端连接在第一高压管（1）上的第一电磁阀（V2）和风冷机（3）之间，第二高压管（12）沿气流方向依次设有第三手动常开阀（C3）、第七电磁阀（V5）和第四手动常开阀（C6），六氟化硫提纯罐（8）内设有带温度传感器的加热管（13）、六氟化硫提纯罐（8）在靠近底部处设有第一温度传感器（T1），六氟化硫提纯罐（8）底部有第一称重传感器（TR1）；所述六氟化硫提纯管路包括第三高压管（14），第三高压管（14）一端连接有冷阱（15），第三高压管（14）另一端与六氟化硫提纯罐（8）连接，第三高压管（14）上由六氟化硫提纯罐（8）到冷阱（15）依次设有冷凝器（16）、第五手动常开阀（C4）、六氟化硫纯度仪（17）和第八电磁阀（D4），冷凝器（16）通过第四高压管（18）与第一制冷机（9）连接，第四高压管（18）上设有第九电磁阀（D2），冷阱（15）连接有第二制冷机（19）；所述四氟化碳提纯管路包括第五高压管（20）、第十五高压管（53）和四氟化碳提纯罐（21），第五高压管（20）的两端分别与冷阱（15）和四氟化碳提纯罐（21）连接，第五高压管（20）上由冷阱（15）到四氟化碳提纯罐（21）依次设有第三压力传感器（P3）、第二压力表（22）、第十电磁阀（V13）、第十一电磁阀（V14）、风冷器（23）、第六手动常开阀（C7）、第二压缩机（24）、风冷器（23）旁路、第二单向阀（25）、第二冷热交换器（26）、第十二电磁阀（DF3）和第七手动常开阀（C10）；在第二单向阀（25）的入口处设有第二压力控制开关（YL2），四氟化碳提纯罐（21）上设有第二温度传感器（T2）、四氟化碳纯度仪（27）和缓冲包（28），缓冲包（28）上设有第八手动常开阀（C8）和第一安全阀（29），在第八手动常开阀（C8）和第一安全阀（29）之间设有第三压力表（30）和第四压力传感器（P4）；第十五高压管（53）两端分别与六氟化硫提纯罐（8）和第二冷热交换器（26）连接，第十五高压管（53）上设有第二十一电磁阀（D3）和第二十二电磁阀（D6），第二冷热交换器（26）通过第二十一电磁阀（D3）连接有第三制冷机（54）。