用于多晶铸锭炉的热交换台及其通气管径变化方法

摘要

本发明涉及用于多晶铸锭炉的热交换台及其通气管径变化方法，其中热交换台气道的通径大小可调整，包括热交换层、气体分流层以及分流基层，气体分流层位于热交换层和分流基层之间，该气体分流层设置有成阵列布置的分流基孔，分流基孔内可拆卸地配置有套管，该套管提供气流通过分流基孔的管孔。

主权项

一种用于多晶铸锭炉的热交换台，用来放置多晶硅铸锭坩埚并与坩埚进行热交换，包括热交换层、气体分流层以及分流基层，气体分流层位于热交换层和分流基层之间，其特征在于：该气体分流层设置有成阵列布置的分流基孔，分流基孔内可拆卸地配置有套管，该套管提供气流通过分流基孔的管孔，其中，分流基孔对应有多个套管，该多个套管的外侧能和分流基孔的内侧贴合，而该多个套管的内径不同，该分流基孔是选择性地与该多个套管中的一个套管配合。