| 摘要 |
<p>본 발명은 가스를 매개체로 하는 반도체 및 LCD 제조공정설비 온도 제어장치의 냉매회수 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 소정의 작동유체가 순환되는 공정설비와, 제1전자제어밸브와 제1압력센서를 구비한 제1이송라인을 통해 공정설비에서 유출되는 작동유체의 압력을 높이는 압축기(compressor)와, 제2전자제어밸브와 제2압력센서를 구비한 제2이송라인을 통해 압축기로부터 유입되는 작동유체를 응축하는 응축기(condenser)와, 제3이송라인을 통해 응축기로부터 유입되는 작동유체가 일시 저장되는 수액기(liquid receiver)를 구비한 본체부 및 제4전자제어밸브와 제4압력센서를 구비한 제4이송라인을 통해 수액기로부터 유입되는 작동유체의 양을 제어하여 제5전자제어밸브와 제5압력센서를 구비한 제5이송라인을 통해 공정설비에 작동유체를 공급하는 제1전자팽창밸브와, 제2이송라인을 통해 이송되는 작동유체가 분기 되어 제6전자제어밸브와 제6압력센서를 구비한 제6이송라인을 통해 압축기로부터 유입되는 작동유체의 양을 제어하여 제7전자제어밸브를 구비한 제7이송라인을 통해 제5이송라인에 작동유체를 공급하는 제2전자팽창밸브를 구비한 온도제어부를 포함하며, 본체부는 제8전자제어밸브를 구비한 제8이송라인을 통해 압축기로부터 유입되는 작동유체가 저장되는 저장탱크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스를 매개체로 하는 반도체 및 LCD 제조공정설비 온도 제어장치의 냉매회수 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 적어도 하나 이상의 반도체 및 LCD 제조공정설비에 가스를 냉매로 사용하는 온도제어장치의 운행 중단시 유로에 충전되어 있는 냉매를 별도의 저장탱크로 회수하는 효과가 있다.</p> |
