| 摘要 |
<p>본 발명은 복수 매의 기판들을 연속적으로 공정 챔버로 로딩/언로딩하여 기판 반송 시간을 절약하여 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 처리 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판 처리 시스템은, 외부로부터 기판들이 제공되는 제1기판 출입구를 갖는 트랜스퍼 챔버; 제1,2기판 지지부와 상기 트랜스퍼 챔버와 연결되는 제2기판 출입구를 포함하는 공정 챔버; 및 상기 트랜스퍼 챔버에 설치되며, 상기 제1기판출입구를 통하여 외부로부터 처리 전 기판들을 인수받아 상기 제1,2기판 지지부로 반송하고, 상기 제1,2기판 지지부로부터 처리 후 기판들을 상기 제1기판 출입구를 통하여 외부로 인계하는 기판 반송 장치를 포함하며, 상기 기판 반송 장치는, 상기 제1기판 출입구를 통해 기판들을 인수인계하는 위치와, 상기 제1,2기판 지지부로 기판을 반송하기 위한 위치 간을 회동하는 제1반송부 및 제2반송부를 포함하며, 상기 제1반송부는, 상기 제1기판 출입구와 대향되는 위치에 구비되는 제1스핀들과; 상기 제1스핀들에 결합되며, 제1회전반경을 갖고 제1회전각만큼 제1방향으로 회동하며 상기 제2기판 지지부로 기판을 반송하는 제1회전 플레이트암을 포함하고, 상기 제2반송부는, 상기 제1기판 출입구와 대향되는 위치에 상기 제1스핀들 보다 상기 제1기판 출입구 쪽으로 가깝게 배치되는 제2스핀들과; 상기 제2스핀들에 결합되며, 제2회전반경을 갖고 제2회전각만큼 상기 제1방향으로 회동하며 상기 제2기판 지지부 보다 상기 기판들을 인수인계하는 위치로부터 멀게 배치된 상기 제1기판 지지부에 기판을 반송하는 제2회전 플레이트암을 포함하고, 상기 기판들을 인수인계하는 위치는 상기 제1기판 출입구의 전방에 형성되고, 상기 기판들을 인수인계하는 위치에서 상기 제1회전 플레이트암과 상기 제2회전 플레이트암의 단부는 하나의 정렬선에 수직으로 정렬되고, 상기 제2회전 플레이트암의 제2회전반경은 상기 제1회전 플레이트암의 제1회전반경보다 회전 반경이 작고, 제2회전각이 상기 제1회전각 보다 큰 것을 특징으로 한다.</p> |
