| 摘要 |
<p>본 발명에 따른 리지타노 코일안테나는 둘레를 따라 원주방향으로 슬릿(120)이 형성된 고리형상의 도전체블록(110)으로 이루어지고, 상기 도전체블록(110) 내에는 상기 슬릿(120)에 인접하여 복수 개의 영구자석(130)이 장착되며, 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)를 통해 마이크로웨이브를 공급받아 플라즈마를 생성하는 안테나몸체부(100); 및 내부에는 인가된 마이크로웨이브를 상기 안테나몸체부(100)에 공급하기 위한 마이크로웨이브 공급공(213,223,233)이 관통되어 형성되며, 상기 마이크로웨이브 공급공(213,223,233)의 단부가 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)와 정합되도록 상기 도전체블록(110)에 체결되어, 상기 마이크로웨이브 공급공(213,223,233)을 통해 상기 마이크로웨이브를 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)에 공급하는 도파관부(200);를 포함하는 도파관 연결방식의 고전력(high power) 인가형 리지타노 코일안테나를 개시한다.</p> |
