圧電デバイスならびに圧電デバイスを準備および使用する方法

摘要

圧電デバイスを製造する方法が提供される。方法は、基板を準備することと、基板の第１の表面上にナノ結晶ダイヤモンド層を形成することとを含むことができる。方法は、ナノ結晶ダイヤモンド層の第１の表面上に圧電層を堆積することも含むことができる。