发明名称 |
特定の結晶学的特徴を有するIII−V族基板材料および作成方法 |
摘要 |
基板は、第III−V族材料を含み上面を有する本体を含み、本体が上面と結晶学的基準面の間で定義されるオフカット角を含み、本体がさらに約0.6?以下のオフカット角変動を含む。 |
申请公布号 |
JP2014534941(A) |
申请公布日期 |
2014.12.25 |
申请号 |
JP20140533397 |
申请日期 |
2012.09.28 |
申请人 |
サン‐ゴバン、クリストー、エ、デテクトゥールSAINT−GOBAIN CRISTAUX & DETECTEURS |
发明人 |
ジャン−ピエール、フォーリー;ベルナール、ボーモン |
分类号 |
C30B29/38;C30B33/00;H01L21/20 |
主分类号 |
C30B29/38 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|