| 发明名称 | 多功能模块化强流电子注分析系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种强流电子注分析系统，包括在水平方向上安置的基座模块(B)，以及在该基座模块(B)上沿着水平方向依次安置多个功能模块，各功能模块共轴且具有统一的接口部件，所述基座模块(B)包括光学导轨(B1)和置于光学导轨(B1)上的刀架支撑支架(B2)，各个所述功能模块借助所述刀架支撑支架(B2)安置在所述光学导轨(B1)上。所述功能模块包括电子枪装配模块(G)、电子注传输过程模拟测量模块(F)、电子注能谱测量模块(E)和电子注截面测量模块(M)。本发明在方便地更换功能模块的同时，无需重新调节各模块的安装位置来保持对中，极大地提高了强流电子注分析的功能性和便利性。 | ||
| 申请公布号 | CN104237672A | 申请公布日期 | 2014.12.24 |
| 申请号 | CN201410383816.7 | 申请日期 | 2014.08.06 |
| 申请人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明人 | 阮存军;李庆生;李崇山;吴迅雷;龙志翘 |
| 分类号 | G01R31/00(2006.01)I;G01T1/29(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 宋焰琴 |
| 主权项 | 一种强流电子注分析系统，其特征在于，包括在水平方向上安置的基座模块(B)，以及在该基座模块(B)上沿着水平方向依次安置的多个功能模块，各功能模块共轴且具有统一的接口部件。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区北四环西路19号 | ||