| 发明名称 | 制备多晶硅的系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种制备多晶硅的系统，该系统包括：多个还原炉，多个还原炉通过管道串联连接；三氯氢硅入口，三氯氢硅入口设置在管道上；氢气入口，氢气入口设置在管道上；三氯氢硅储罐，三氯氢硅储罐分别与第一个还原炉和三氯氢硅入口相连；以及氢气储罐，氢气储罐分别与第一个还原炉和氢气入口相连。该系统可以实现物料的循环使用，并且显著降低还原尾气的处理成本。 | ||
| 申请公布号 | CN204039069U | 申请公布日期 | 2014.12.24 |
| 申请号 | CN201420431176.8 | 申请日期 | 2014.07.31 |
| 申请人 | 中国恩菲工程技术有限公司 | 发明人 | 石何武;郑红梅;严大洲;汤传斌;肖荣晖 |
| 分类号 | C01B33/035(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/035(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 李志东 |
| 主权项 | 一种制备多晶硅的系统，其特征在于，包括：多个还原炉，所述多个还原炉通过管道串联连接；三氯氢硅入口，所述三氯氢硅入口设置在所述管道上；氢气入口，所述氢气入口设置在所述管道上；三氯氢硅储罐，所述三氯氢硅储罐分别与第一个还原炉和所述三氯氢硅入口相连；以及氢气储罐，所述氢气储罐分别与所述第一个还原炉和所述氢气入口相连。 | ||
| 地址 | 100038 北京市海淀区复兴路12号 | ||