发明名称 | 多层衍射光学元件偏心误差分析方法 | ||
摘要 | 多层衍射光学元件偏心误差分析方法属于光学设计技术领域。在现有技术中还没有一种科学、可靠的偏心误差对衍射效率的影响的分析方法。本发明之多层衍射光学元件偏心误差分析方法包括以下四个步骤:1、根据多层衍射光学元件位相延迟表达式和衍射效率公式,求出连续面型或者台阶面型多层衍射光学元件的衍射效率;2、在整个工作波段内,根据多色光积分衍射效率理论,确定多色光积分平均衍射效率;3、在整个工作波段内,确定多色光积分衍射效率最大值,以及对应的工作波长,所述对应的工作波长即为设计波长,将设计波长代入微结构高度公式,确定各层衍射元件微结构高度值;4、根据波动光学模型,推导出含有偏心误差的多层衍射光学元件的衍射效率表达式。 | ||
申请公布号 | CN104237992A | 申请公布日期 | 2014.12.24 |
申请号 | CN201410539128.5 | 申请日期 | 2014.10.13 |
申请人 | 长春理工大学 | 发明人 | 薛常喜;高龙 |
分类号 | G02B5/18(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I |
代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人 | 陶尊新 |
主权项 | 一种多层衍射光学元件偏心误差分析方法,其特征在于,该方法包括以下四个步骤:(1)根据多层衍射光学元件位相延迟表达式和衍射效率公式,求出连续面型或者台阶面型多层衍射光学元件的衍射效率;(2)在整个工作波段内,根据多色光积分衍射效率理论,确定多色光积分平均衍射效率;(3)在整个工作波段内,确定多色光积分衍射效率最大值,以及对应的工作波长,所述对应的工作波长即为设计波长,将设计波长代入微结构高度公式,确定各层衍射元件微结构高度值;(4)根据波动光学模型,推导出含有偏心误差的多层衍射光学元件的衍射效率表达式。 | ||
地址 | 130022 吉林省长春市朝阳区卫星路7089号 |