针对防止静电夹盘的黏接粘合剂侵蚀的方法及设备

摘要

本发明的实施例提供具有保护性元件的腔室部件，该保护性元件用于遮蔽黏接材料隔绝处理环境中的处理环境。该保护性元件可包括保护性密封物、保护性结构、抗侵蚀填料，或前述元件的组合。本发明的实施例减少用于处理腔室中的黏接材料的侵蚀，因而改良处理品质并且减少维修成本。

主权项

一种在处理腔室中使用的设备，包含：第一部件，具有第一表面；第二部件，具有第二表面，其中所述第二表面面向所述第一部件的所述第一表面；黏接材料，设置于所述第一表面与所述第二表面之间并且接合所述第一部件与所述第二部件；及保护性元件，用于防止所述黏接材料在所述处理腔室中的侵蚀。